《表2 驱动部件进给系统前六阶振动频率》

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《2(3PUS+S)型并联机构驱动部件振动响应特性分析》

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接下来可以进行求解，求解完成后直线模组的前六阶振型图如图7～图9所示，由变形的位移量中可以得出两点结论:（1）驱动部件振动主要包括弯曲振动和扭转振动；（2）驱动部件进给系统的振型与滑块的位置有关。这里选取滑块的上下极限位置为“特殊点”，对三维模型进行模态分析，篇幅所限，此处不再赘述振型图，将需要分析的模型的前六阶固有频率列举出来，如表2所示。