《表4 主要控制仪表：UF-RO工艺回用处理半导体废水》

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《UF-RO工艺回用处理半导体废水》

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数据采集和过程监控采用SCADA系统，PLC等硬件设备以总线方式连接到服务器上，进行数据处理和运算。操作人员可以在SCADA系统上对现场的开关、阀门进行操作，实现现场无人值守。各控制点实时记录运行数据，生成系统各设备和在线仪表的运行曲线，便于分析系统运行状况。主要控制仪表见表4。