《表6 反渗透膜清洗剂:UF-RO工艺回用处理半导体废水》
反渗透膜运行一定时间后,污染物会在膜表面沉积,需要定期进行化学清洗以完全恢复膜性能。本系统设计清洗周期为3个月,清洗包括循环、浸泡、冲洗3个过程,将清洗剂引入反渗透膜组,按每支膜11.4 L/min的流量循环5~15min,再将单支膜流量调至22.8 L/min循环5~15min,然后再将单支膜流量调至35 L/min循环30~60 min,随后进入浸泡阶段,1~2 h后进行冲洗,直至浓水电导率与进水电导率相同。反渗透膜采用先酸洗后碱洗的步骤进行,酸洗和碱洗均经过上述过程,酸洗剂可选用柠檬酸或HCl,碱洗剂选用NaOH。清洗剂选择见表6。
图表编号 | XD00105409700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.10.28 |
作者 | 王春冬、李正华、应晓芳 |
绘制单位 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |