《表5 超滤膜反洗程序：UF-RO工艺回用处理半导体废水》
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BG和BWW超滤膜采用先气洗后水洗的清洗模式，程序设定见表5。
| 图表编号 | XD00105409600 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.10.28 |
| 作者 | 王春冬、李正华、应晓芳 |
| 绘制单位 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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