《表1 升降压控制模式：半导体生产废水处理的工程实例》

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《半导体生产废水处理的工程实例》

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该污水处理厂废水来源主要是某芯片制造企业产生的经预处理后的废水，废水量为10 000 m3/d。芯片生产废水主要分为：含氨废水、含氟废水、BG/CMP研磨废水、酸碱废水、有机废水等[1]，废水中的主要污染物成分有四甲基氢氧化铵、异丙醇、氟化物等，研磨废水主要污染物为悬浮颗粒[2]。此废水具有有机氮、氟化物含量高的特点，排放执行GB 3838—2002中的Ⅴ类标准。芯片生产废水设计进出水水质情况见表1。