《表5 ITO成膜温度变更实验结果》

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《TN型液晶面板气泡不良分析研究与改善》

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随着制备温度的升高，ITO薄膜的表面粗糙度先降低后上升。低温成膜时的晶粒细小，孔洞较多，容易在外力下产生破损或脱落；高温成膜时的晶粒粗大，膜面更为致密，晶粒之间不易分离。相对于低温成膜，高温成膜工艺的ITO由于致密度提升，硬度也相应提升[9]，不容易受到毛刷的损伤。我们通过将TN产品的ITO成膜温度由120℃/120℃变更为150℃/150℃来提升ITO成膜致密度。实验结果如表5所示。可见在高温成膜的样品不易出现裂缝，使OC析出气体进入显示屏内形成气泡。