《表2 掠入射望远镜拟合结果残差的PV值和RMS值》

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《软X射线掠入射望远镜的成像质量评价》

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为了对有限远成像实验进行仿真，需要已知反射镜的表面质量，利用Form Talysurf PGI 1000S轮廓仪和NewView 6300 3D表面轮廓仪对望远镜进行检测。根据检测结果，利用式（3）对掠入射望远镜的表面轮廓误差进行拟合，拟合结果的残余误差的PV和RMS见表2。图4为望远镜方位角为0°和90°的轴向轮廓误差及其拟合曲线。图5是主镜和次镜半径较大位置处截面的圆度。可以看出，L-F多项式不仅在光轴方向上拟合得很好，在垂直光轴的截面内拟合结果同样优秀。