《表1 支撑点个数N与RMS/PV之间的关系(单位:nm)》
根据经验公式,可以得到最少支撑点数为2个,下面分别对2、4、6、8、10、12、14点支撑模型最优化和重力作用下的面型分析。通过构建不同的支撑模型,对支撑点个数N进行优化,如表1所示。由优化结果显示,N=8时,此时的支撑效果最好。N=10时,RMS有小幅度上升,但仍满足要求;考虑到支撑点越多,加工成本越大,工艺性越复杂。所以综上所述,选择8点支撑方式。
图表编号 | XD00163380200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.05.08 |
作者 | 李盛林、韩光宇、卢惠琴、刘希财 |
绘制单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室、中国科学院大学、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室、南京中科天文仪器有限公司、南京中科天文仪器有限公司 |
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