《表1 不同砂轮研抛晶片的损伤深度》
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为了分析砂轮粒度对损伤深度的影响，对#325（4片）、#2000（4片）、#3000（4片）和#6000（4片）砂轮研抛晶片的损伤深度进行检测，损伤深度结果如表1所示。
| 图表编号 | XD00102689200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.10.20 |
| 作者 | 张文斌、郭俊伟、葛劢翀 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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