《表4 不同砂轮进给率下晶片的损伤深度》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《碲锌镉晶片研抛加工表面层损伤的研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

由于#6000砂轮研抛晶片的损伤检测相对较容易且误差小，在研究砂轮转速、工作台转速和砂轮进给率对损伤深度的影响时都选用#6000砂轮研抛晶片。首先对砂轮转速、工作台转速和砂轮进给率对损伤深度的影响进行单因素实验分析，不同参数下加工晶片的损伤深度结果分别如表2～表4所示。