《表5 不同批次Ferro基板气密性测试结果》

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《有源相控阵天线瓦片式T/R组件基板气密性研究》

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通过对基板表层结构进行气密性测试发现，Ferro基板的气密性水平明显低于其它三种基板。为了提高试验的可靠性，设计试验从产线上选取了12种不同批次的Ferro基板，另外选取了4种其它单位生产的Ferro基板，测试结果如表5所示。