《表3 基板表层结构气密性测试试验条件》

《表3 基板表层结构气密性测试试验条件》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《有源相控阵天线瓦片式T/R组件基板气密性研究》


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采用试验2中气密性测试方法,对不同的基板进行测试,试验条件见表3,测试结果见表4。