《薄膜物理》

第一章薄膜的形成1

1-1 单体的吸附1

1-2 小原子团的形成6

1-3 成核理论8

1-4 凝结系数15

1-5 薄膜的形成18

1-6 薄膜的结构20

1-7 薄膜中的缺陷22

第二章薄膜的力学性质25

2-1 薄膜的附着性能25

2-2 附着力的测试方法30

2-3 薄膜的内应力34

2-4 内应力的测试方法46

2-5 薄膜的机械强度51

2-6 机械强度的试验方法53

第三章金属薄膜的电导56

3-1 岛状薄膜的电导56

3-2 外因对岛状薄膜电导的影响69

3-3 网状薄膜的电导74

3-4 连续薄膜的电导77

3-5 外因对连续薄膜电导的影响87

第四章薄膜的表面和界面92

4-1 表面双电层和表面势92

4-2 表面电场效应97

4-3 电接触103

第五章介质薄膜的电学性能123

5-1 介质薄膜的电导124

5-2 负阻现象和记忆效应138

5-3 介质薄膜的介电常数143

5-4 介质薄膜的损耗148

5-5 介质薄膜的击穿157

5-6 氧化物介电性能与固态特性的关系159

第六章压电薄膜的电学性能161

6-1 晶体的性质163

6-2 压电薄膜176

6-3 氧化锌微晶薄膜185

6-4 氮化铝微晶薄膜191

参考文献195