《SEMI标准年鉴 1990 第2卷 B分册 设备自动化 软件部分》

设备通信规范1

报文转移（SECS-1）1

设备通信规范2

中文版前言7

前言11

出版物订购单15

SEMI通信17

组织机构图解20

委员会介绍23

报文内容（SECS-Ⅱ）27

国际标准委员会27

地区标准委员会28

地区委员会一览表31

SEMI E4—87

SEMI E13—90

A5．基本SECS设备实现建议90

A4．工艺程序90

0．引言90

A3．SECS-Ⅱ数据传送要点90

A2．一些推荐的报文应用90

A1．通用要点交易协议90

应用要点90

9．计量单位90

8．报文文件90

1．范围与应用方面90

2．参考文献90

3．定义90

4．缩语90

5．规则90

6．OSI环境下的SMS90

7．虚拟半导体设备90

8．环境与通用管理业务90

9．SECS-Ⅱ转送业务90

10．错误90

11．符合性90

SEMI E13—90

2．选择的定义90

应用事项90

1．引言90

2．选择的定义90

3．耦合90

4．字符结构90

5．字区转移协议90

6．标头结构90

7．报文协议90

8．参数设定90

9．文件编制90

附件90

X1．与SECS-Ⅰ1980版的区别90

7．报文细节90

A1．SECS-Ⅰ的其他注释90

A2．隔离90

A3．字区转移协议实例90

A4．字区转移协议中缓冲器的使用A5．系统字节A6．在一个网络中使用SECSA7．通用节点交易协议SEMI E5—90

1．引言90

3．报文传送协议90

4．流与功能90

5．交易与对话协议90

6．数据结构90

业务160

报文业务（SMS）第1部分，SMS160

SEMI设备通信规范160

SEMI设备通信规范190

报文业务（SMS）第2部分，SMS协议190