《SEMI标准年鉴 1990 第5卷 微型构图部分》求取 ⇩

规范1

硬面光掩模基板1

中文版前言7

前言8

规范13

硬面光掩模用铬薄膜13

出版物定购单17

硬面感光板中光致抗蚀剂和电子抗蚀剂17

规范17

SEMI通信21

圆形石英玻璃光掩模基板21

规范21

组织机构图解22

委员会介绍25

薄膜29

规范29

地区标准委员会30

标准31

多色（宽带），（1:1）分步扫描镜式投影系统用薄膜31

国际标准委员会31

单色、单波长精缩分步重复系统用薄膜33

地区委员会一览表33

标准33

光掩模对准标记35

规范35

粘度测定，方法A——运动粘度40

方法40

光致抗蚀剂中水含量的测定42

方法42

微电子抗蚀剂功能测试44

指南44

光掩模定单输入数据结构51

规范51

7．计算校验和74

附录 SEMI定单输入数据文件举例74

微石印术工业有关的SEMI术语和定义74

6．术语74

1．引言74

2．有关标准74

3．限制74

4．指定和约定74

5．语法规范74

SEMI P1—83

8．操作85

9．合格证85

10．包装和标志85

7．抽样85

SEMI P4—85

1．引言85

3．定义85

5．外观准则85

4．订货资料85

2．有关文件85

6．缺陷85

5．粘贴要求86

SEMI P5.2—86

1．引言86

2．有关文件86

3．定义86

4．订货资料86

5．要求86

6．试验方法86

10．包装和标志86

8．操作86

9．合格证86

SEMI P5.1—86

5．尺寸和允许偏差86

4．缺陷极限86

1．范围86

3．薄膜规范（整个有效区）86

2．框架规范86

7．抽样86

1．引言86

7．平正度要求86

8．外观准则86

9．抽样86

10．测试方法86

11．操作86

12．合格证86

13．包装和标志86

附录硬面光掩模玻璃性能86

SEMI P2—86

4．订货资料86

3．定义86

SEMI P5—86

2．有关文件86

6．材料要求86

4．订货资料86

6．材料规范（仅指ULTE玻璃）86

7．平正度区域（仅指一面）86

3．定义86

8．外观准则（仅指一面）86

1．引言86

9．抽样86

10．试验方法86

5．尺寸和允许偏差86

11．操作86

12．合格证86

13．包装和标志86

附录硬面光掩模玻璃性能86

2．有关文件86

3．薄膜规范（整个有效区）88

4．缺陷极限88

2．框架规范88

SEMI P6—88

1．范围88

5．粘贴要求88

1．范围89

4．程序89

SEMI P9—89

2．有关文件89

3．设备89

SEMI P7—89

3．对准标记的形状和尺寸指南89

2．详细规范89

1．一般要求89

5．有关文件90

4．优先次序90

3．范围90

6．定义90

7．术语汇编90

8．附录90

SEMI P10—90

4．订货资料90

3．定义90

1．范围90

SEMI P3—90

11．包装和标志90

10．合格证90

9．操作90

8．抽样90

7．缺陷90

6．外观准则90

5．材料要求90

2．背景材料90

2．有关文件90

3．设备90

4．程序90

5．计算90

SEMI P8—90

2．有关文件90

1．引言90

1．目的90