《SEMI标准年鉴 1987 第5卷 光掩模部分》求取 ⇩

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出版 北京：中国标准出版社
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SEMI标准年鉴 1987 第5卷 光掩模部分 1988 PDF电子版封面 7506601028

表2圆形基板的直径、偏平深度和厚度规格1

硬面感光板光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂 31

．引言1

硬面光掩模基板 11

．订货资料1

表1敏化感光板全部允许缺陷1

圆形石英玻璃光掩模基片 41

．引言1

．引言1

硬面光掩模用铬薄膜 21

附录：玻璃特性1

表6标记位置尺寸1

表5每片玻璃基板的缺陷极限值1

表4基板材料特性1

表3倒角和圆形边尺寸规格1

表1非敏化感光板全部允许缺陷1

表1方形基板的边长、垂直度和厚度1

表1圆形石英玻璃光掩模基片尺寸1

表2圆形石英玻璃光掩模基片平正度极限1

表3圆形石英玻璃光掩模基片边缘指标1

表4每块玻璃基片的缺陷极限1

附录：玻璃特性1

薄膜的SEMI规范 51

．引言1

．引言1

．有关文件2

．有关文件2

．有关文件2

．有关文件2

．有关文件2

．定义3

．定义3

．定义3

．定义3

．定义3

．订货资料4

．订货资料4

．订货资料4

．订货资料4

．外观准则5

．要求5

．材料要求5

．尺寸和允许偏差5

．尺寸和允许偏差5

．外观准则6

．缺陷6

．材料规范6

．材料要求6

．试验方法6

．平正度区域7

．平正度要求7

．抽样7

．抽样7

．缺陷7

．操作8

．外观准则8

．操作8

．抽样8

．外观准则8

．合格证9

．抽样9

．操作9

．合格证9

．抽样9

．包装与标志10

．测试方法10

．试验方法10

．包装和标志10

．合格证10

．操作11

．操作11

．包装和标志11

．合格证12

．合格证12

．包装和标志13

．包装和标志13

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