《SEMI标准年鉴 1990 第1卷 化学品部分》求取 ⇩

半导体生产用纯水的SEMI建议导则1

1．说明2

2．用途2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

1．说明2

2．用途2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

1．说明2

2．用途2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

1．说明2

2．用途2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

1．说明2

2．用途2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

1．说明2

2．用途2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

1．说明2

2．用途2

1．说明2

2．用途2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

3．规格2

4．物理常数（仅供参考）2

5．分析步骤（见注1、2

1．说明3

2．用途3

3．规格3

4．物理常数（仅供参考）3

5．分析步骤（见注2、3

1．说明3

2．用途3

3．规格3

4．物理常数（仅供参考）3

5．分析步骤（见注1、2、3

试验规范4

1．说明4

2．用途4

3．规格4

4．物理常数（仅供参考）4

5．分析步骤（见注3、4

1．说明5

2．用途5

3．规格5

4．电性能规格5

5．物理常数（仅供参考）5

6．分析步骤（见注5

1．说明5

2．用途5

3．规格5

4．电性能规格5

5．分析步骤（见注5

1．说明5

2．用途5

3．规格5

4．物理常数（仅供参考）5

5．分析步骤（见注2、3、4、5

1．说明5

2．用途5

3．规格5

4．物理常数（仅供参考）5

5．分析步骤（见注3、4、5

中文版前言7

前言21

出版物定购单25

SEMI通信27

组织机构图解30

乙酸标准31

委员会介绍33

丙酮标准35

国际标准委员会37

地区标准委员会38

40％氟化铵溶液标准38

氢氧化铵标准41

乙酸正丁酯标准44

二氯甲烷标准47

六甲基二硅氮烷（HMDS）标准50

盐酸标准53

氢氟酸标准57

过氧化氢标准60

甲醇标准63

地区委员会一览表65

丁酮标准66

1－甲基－2－吡咯烷酮标准69

硝酸标准72

磷酸标准74

粒状氢氧化钾标准78

2－丙醇标准81

2．用途82

3．规格82

SEMI C4—82

1．说明82

4．物理常数（仅供参考）82

SEMI C5—84

粒状氢氧化钠标准84

1．说明85

2．用途85

3．规格85

4．物理常数（仅供参考）85

SEMI C3.20—85

SEMI C3.25—85

SEMI C3.8—86

1．说明86

2．用途86

3．规格86

4．电性能规格86

5．物理常数（仅供参考）86

6．分析步骤86

SEMI C3.9—86

1．说明86

2．用途86

3．规格86

4．电性能规格86

5．物理常数（仅供参考）86

6．分析步骤86

SEMI C3.10—86

1．说明86

2．用途86

3．规格86

4．电性能规格86

5．物理常数（仅供参考）86

6．分析步骤86

SEMI C3.11—86

1．说明87

2．用途87

3．规格87

4．化学规格87

5．物理常数（仅供参考）87

SEMI C3.32—87

硫酸标准87

1．说明87

2．用途87

3．规格87

4．物理常数（仅供参考）87

SEMI C3 STD.33—87

1．说明88

2．用途88

3．规格88

4．化学规格88

5．物理常数（仅供参考）88

SEMI C3.4—88

SEMI C3.19—88

SEMI C3.30—88

1．说明88

2．用途88

3．规格88

4．物理常数（仅供参考）88

5．分析步骤88

SEMI C3.3—88

SEMI C3.1—88

1．说明88

2．用途88

3．规格88

4．物理常数（仅供参考）88

SEMI C3.5—88

SEMI C3.15—88

SEMI C3.13—88

SEMI C3.22—88

1．说明88

2．用途88

3．规格88

4．物理常数（仅供参考）88

SEMIC3.6—88

1说明88

2．用途88

3．规格88

4．物理常数（仅供参考）88

SEMI C3 STD.7—88

1．说明88

2．用途88

3．规格88

4．物理常数（仅供参考）88

SEMI C3.2—88

1．规格88

2．物理特性（仅供参考）88

3．方法88

SEMI C1.26—88

1．说明88

2．用途88

3．规格88

4．物理常数（仅供参考）88

SEMI C3.27—88

4．仪器89

1．说明89

2．用途89

3．规格89

4．化学规格89

5．物理常数（仅供参考）89

6．分析步骤89

SEMI C3.40—89

5．试验方法89

6．规格89

1．说明89

2．用途89

3．规格89

4．物理常数（仅供参考）89

SEMI C3.18—89

7．报告89

3．方法89

SEMI C3.31—89

8．精密度89

SEMI C1.13—89

SEMI C6.1—89

7．报告89

1．说明89

2．用途89

3．规格89

4．化学规格89

5．物理常数（仅供参考）89

1．前言89

2．定义89

3．样品（试样）89

4．采样89

5．定量（待规定）89

6．气相色谱法（待规定）89

7．特殊的分析89

8．标样89

9．精密度的确定89

SEMI C3.12—89

SEMI C3.37—89

3．定义89

1．说明89

2．用途89

3．规格89

4．物理常数（仅供参考）89

SEMI C3.36—89

1．说明89

2．用途89

3．规格89

4．物理常数（仅供参考）89

SEMI C3.35—89

SEMI C3.39—89

SEMI C3.14—89

2．物理特性（仅供参考）89

1．目的89

2．范围89

4．仪器89

3．选用定义89

1．规格89

SEMI C6.3—89

6．规格89

4．仪器89

5．试验方法89

6．规格89

SEMI C3.38—89

5．试验方法89

1．目的89

2．范围89

7．报告89

8．精密度89

SEMI C6.2—89

SEMI C3.26—89

2．范围89

1．目的89

1．说明89

2．用途89

3．规格89

4．物理常数（仅供参考）89

3．选用定义89

SEMI C6.4—90

2．用途90

3．规格90

4．物理常数（仅供参考）90

SEMI C3.21—90

2．范围90

1．导则参数90

2．物理特性90

3．方法90

SEMI C7.5—90

3．选用定义90

1．导则参数90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.19—90

SEMI C1.15—90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.20—90

SEMI C7.6—90

4．仪器90

1．导则参数90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C7.7—90

5．试验方法90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.7—90

1．导则参数90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

3．方法90

SEMI C1.8—90

SEMI C7.8—90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

SEMI C3.34—90

6．规格90

1．规格90

2．物理特性90

3．方法90

SEMI C1.16—90

3．方法90

1．导则参数90

3．方法90

SEMI C1.11—90

3．方法90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

1．规格90

1．目的90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C3—90

7．报告90

8．校准90

3．方法90

2．范围90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C2—90

1．规格90

1．前言90

3．选用定义90

SEMI C1.25—90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

2．物理特性（仅供参考）90

SEMI C1.12—90

2．定义90

4．仪器90

1．背景90

2．界限水平90

3．导则的使用90

4．单位90

5．试验概述90

3．通用方法和某些方法的导则90

5．试验方法90

4．试剂和标准溶液90

5．安全90

SEMI C2.2—90

SEMI C1.9—90

1．定义90

2．组成90

6．规格90

1．规格90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．容许差90

9．安全90

7．报告90

6．参考文献90

SEMI C1—90

1．规格90

1．前言90

2．定义90

SEMI C6.5—90

1．说明90

2．用途90

3．规格90

4．物理常数（仅供参考）90

SEMI C3.43—90

SEMI C6.6—90

4．最大杂质量90

5．方法90

SEMI C2.1—90

SEMI C1.22—90

1．定义90

1．目的90

3．通用方法和某些方法的导则90

4．试剂和标准溶液90

5．安全90

SEMI C1.1—90

3．方法90

2．组成90

2．范围90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.2—90

SEMI C1.14—90

SEMI C3.28—90

3．选用定义90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.23—90

1．规格90

1．规格90

SEMI C3.29—90

4．仪器90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.5—90

2．物理特性90

3．容许差90

5．试验方法90

3．方法90

SEMI C1.10—90

1．规格90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

4．最大杂质量90

6．规格90

1．说明90

2．用途90

3．规格90

4．物理常数（仅供参考）90

5．分析步骤90

SEMI C3.16—90

7．报告90

1．说明90

2．用途90

3．规格90

4．物理常数（仅供参考）90

5．分析步骤90

SEMI C3.17—90

8．精密度90

1．说明90

2．用途90

3．规格90

4．物理常数（仅供参考）90

5．分析步骤90

SEMI C3.23—90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.3—90

3．方法90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

SEMI C3.41—90

3．方法90

5．方法90

SEMI C2.3—90

SEMI C1.4—90

1．定义90

2．组成90

SEMI C3.42—90

3．容许差90

4．最大杂质量90

5．方法90

SEMI C7.1—90

1．导则参数90

2．物理特性（仅供参考）90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

3．方法90

SEMI C1.17—90

四氯乙烯标准90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.18—90

SEMI C7.2—90

1．规格90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.24—90

2．物理特性（仅供参考）90

1．导则参数90

3．方法90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C7.3—90

2．物理特性（仅供参考）90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.21—90

1．说明90

2．用途90

3．规格90

4．电性能规格90

5．物理常数（仅供参考）90

SEMI C3.24—90

3．方法90

1．规格90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

SEMI C1.6—90

SEMI C7.4—90

1．目的90

1．导则参数90

2．物理特性（仅供参考）90

3．方法90

1．说明90

甲苯标准93

电子级1,1,1－三氯乙烷标准96

熔炼级1,1,1－三氯乙烷标准（暂定）99

三氯乙烯标准102

三氯三氟乙烯标准105

二甲苯标准108

蚀刻剂规范111

经缓冲的氧化物蚀刻剂标准113

混合酸蚀刻剂标准116

磷酸蚀刻剂标准119

氢氧化铵导则124

盐酸导则126

氢氟酸导则128

4.9％氢氟酸（10:1 v/v）导则130

过氧化氢导则132

硝酸导则134

2－丙醇导则136

硫酸导则138

气体规范140

钢瓶装氨（NH3）标准149

散装液氩（Ar）标准155

钢瓶装载气级氩（Ar）标准159

散装VLSI级氩（Ar）标准（暂定）163

钢瓶装砷化三氢（AsH3）标准（暂定）165

三氯化硼（BCl3）标准（暂定）167

钢瓶装三氟化硼（BF3）标准（暂定）169

钢瓶装四氟化碳（CF4）标准（暂定）171

VLSI级四氟化碳（CF4）标准（暂定）177

氯（Cl2）标准（暂定）179

钢瓶装二氯硅烷（H2SiCl2）标准181

钢瓶装MOS级二氯硅烷（H2SiCl2）标准（暂定）183

乙硅烷（Si2H6）标准（暂定）185

钢瓶装氦（He）标准187

钢瓶装六氟乙烷（C2F6）标准（暂定）191

SEMI级六氟乙烷（C2F6）标准（暂定）193

散装液氢（H2）标准195

钢瓶装载气级氢（H2）标准199

散装VLSI级氢（H2）标准203

钢瓶装氯化氢（HCl）标准（暂定）208

SEMI级氯化氢（HCl）标准（暂定）210

VLSI级氯化氢（HCl）标准（暂定）212

无水氟化氢（HF）标准（暂定）214

散装液氮（N2）标准216

钢瓶装载气级氮（N2）标准221

钢瓶装VLSI级氮（N2）标准225

散装VLSI级气态氮（N2）标准229

钢瓶装一氧化二氮（N2O）标准233

散装液态氧（O2）标准241

钢瓶装电子级氧（O2）标准248

钢瓶装MOS级氧（O2）标准255

钢瓶装VLSI级氧（O2）标准262

散装VLSI级氧（O2）标准（暂定）270

钢瓶装电子级磷化氢（PH3）标准272

钢瓶装LED级磷化氢（PH3）标准274

钢瓶装外延级硅烷（SiH4）标准275

钢瓶装多晶硅和／或二氧化硅级硅烷（SiH4）标准282

钢瓶装四氮化三硅级硅烷（SiH4）标准289

钢瓶装四氯化硅（SiCl4）标准（暂定）296

钢瓶装六氟化硫（SF6）标准297

钢瓶装六氟化钨（WF6）标准（暂定）301

VLSI级六氟化钨（WF6）标准（暂定）302

粘度测定方法，方法A——运动粘度304

光致抗蚀剂中水含量测定方法305

作为管道气体输送的20/0.2级氢（H2）的颗粒规格306

作为管道气体输送的10/0.1级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格309

作为管道气体输送的20/0.2级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格312

作为管道气体输送的10/0.2级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格315

作为管道气体输送的20/0.02级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格318

作为管道气体输送的20/0.2级氧（O2）的颗粒规格321

三氟化氮（NF3）标准（暂定）324

用于制造半导体的气体和／或系统的定义326

1．概述326

2．用途326

3．规格326

4．物理常数（仅供参考）326