《SEMI标准年鉴 1990 第2卷 A分册 设备自动化 硬件部分》

3in,100mm,125mm,150mm塑料和金属硅片盒1

标准1

中文版前言7

3in塑料和金属硅片盒，通用型9

标准9

100mm塑料和金属硅片盒，通用型11

标准11

标准13

125mm塑料和金属硅片盒，通用型13

125mm塑料和金属硅片盒，自动输送使用15

标准15

150mm塑料和金属硅片盒，通用型18

标准18

125mm和150mm石英与高温硅片盒20

标准20

前言21

出版物订购单23

SEMI通信25

标准26

125mm和150mm石英与高温硅片盒26

组织机构图解28

200mm石英与高温晶片盒31

标准31

委员会介绍31

国际标准委员会35

设施接口规范的格式36

地区标准委员会36

地区委员会一览表41

规范62

电气接口62

硅片传送系统：接口的坐标系67

规范67

设备的可靠性，可用性及维修性的定义和测量70

指南70

125mm和150mm塑料和金属晶片盒的应用78

SEMI指南78

用以表达质量流计与质量流控制器的容积流速的标准温度与压力的定义（推荐）83

2．模型格式84

1．引言84

关于影响产品质量的工艺或支撑（配套）设备中微粒污染的测量84

SEMI E7—84

1．范围85

2．选择的定义85

3．尺寸定义85

SEMI E6—85

SEMI E1.3—86

SEMI E1.5—86

SEMI E1.4—86

SEMI E1—86

1．前言86

SEMI E12—86

4．晶片盒应用86

SEMI E8—86

SEMI E1.2—86

3．选择的定义86

2．适用文件86

1．范围86

SEMI E2.2—86

2．选择的定义86

SEMI E1.1—86

5．其他参考文献86

4．导线与电缆86

3．电气接插件86

2．供电类别86

1．引言86

SEMI E2—86

1．范围86

2．选择的定义86

3．尺寸定义86

SEMI E2.1—86

1．范围86

2．选择的定义86

3．尺寸定义86

4．可靠性、可用性、维修性的测定89

SEMI E11—89

3．设备的状态89

2．选择的定义89

1．范围89

SEMI E16—90

4．要求90

3．选择的定义90

2．适用文件90

1．前言90

SEMI E15—90

附录D90

附录C 环境指南90

附录B 加工设备污染测量流程图90

附录A 数据收集表90

5．表面微粒污染的测量90

4．定义90

3．目标90

2．范围90

1．引言90

1．引言90

SEMI E14—90

1．引言90

2．定义90

3．实际要求90

SEMI E10—90

规范102

设备之间材料传送接口的规范102

指南110

确定和叙述质量流控制器泄漏110