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第一部分 大会发言1

第二部分 分组报告37

1.硅材料制备及性能研究37

2.器件及材料物理研究54

3.理化分析测试研究67

4.双极集成电路研究80

5.集成电路工艺研究97

6.MOS集成电路研究116

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