《表1 测试条件：高压大功率器件用高温栅偏测试装置研制》

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《高压大功率器件用高温栅偏测试装置研制》

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为验证本测试装置相关功能及长期运行可靠性，采用某国际知名半导体公司的分立式IGBT器件进行验证性测试。本次测试分为3组，每组测试的电气应力不一致，环境温度应力一致。每组包含3个器件，总计9个器件，具体实验条件如表1所示。老化时间1 000 h，测试开始前、后均进行静态参数测试。测试过程中实时监测漏电流变化，漏电流增大为初始值的1倍或大于20 nA时，停止测试。