《表2 不同进气和排气频率组合条件下温度均一性数据》

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《Oven升华物污染原因及防治研究》

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若Oven炉开合门处于负压状态下，升华物则不会出现溢出情况，但此时外界冷风将流向炉内，造成炉内温度均一性波动，存在光刻胶在基板表面固化不完全，出现品质不良的风险，因此，为避免不良风险的出现，通过温度分析仪，测定了前面4组不同进气和排气频率组合下，1张基板表面30个分布点的温度数据，整理如表2所示。