《表1 热盘温度对均一性的影响测试》

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《TFT-LCD光刻工艺前烘对沟道膜厚均一性的影响》

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前烘热盘的作用是将涂敷在玻璃上的光刻胶中的溶剂和水分进行烘干，并且加强光刻胶与玻璃基板的附着力。温度越高，光刻胶与基板附着越牢固，通过调整不同的热盘温度，验证对沟道膜厚均一性的影响。测试方法和结果如表1所示，不同热盘温度对应THK等值线图如图3所示。