《表4 预热位置和预热时间对均一性的影响测试》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《TFT-LCD光刻工艺前烘对沟道膜厚均一性的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

玻璃基板在进入热盘后，升降销承载玻璃基板下降至预热位置进行预热。本次测试分别验证了不同预热位置和预热时间对膜厚均一性的影响，不同预热位置玻璃基板在升降销的形态如图6所示，由于预热位置为5mm时，玻璃基板会接触到热盘底部，因此测试时预热位置选择大于10mm，具体测试如表4所示。