《表2 不同吸气压力下的平均排气温度》

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《单侧涡旋干式真空泵内气体流动的CFD模拟》

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从图9中可以看出，当吸气压力为42kPa和101kPa时，排气温度相对稳定，此吸气压力下，涡旋干泵处于“稍过压缩”和“过压缩”的工况下，在工作腔与排气口连通前，工作腔内的压力已经到达排气压力，开始排气时，高压气体从排气口排出，排气温度始终与内侧压缩腔内温度大致相同。当吸气压力为17kPa时，从图中可以看出，在θ=100°附近温度有明显的降低，降到接近室温后又波动上升。由于该吸气压力下涡旋泵处于“欠压缩”工况下，当涡旋压缩腔与排气口相通时，压缩腔内压力未达到排气压力，在巨大压力差的作用下，气体高速流向排气侧，在图9中表现为排气区域温度在θ=100°后迅速下降，压力迅速升高，达到排气压力后，开始排气，压力升高，气体分子运动加剧，分子间、分子与壁面之间的碰撞剧烈，致使机械能转变成内能，排气温度逐渐升高。根据式（3）计算求得不同吸气压力下的排气温度，如表2所示。