《表1 干膜封孔方法制作的大尺寸圆形NPTH孔的破孔良率数据》

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《大尺寸非金属化孔的制作工艺研究》


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正常条件下按干膜封孔法流程制作大尺寸NPTH,统计不同尺寸大小的圆形NPTH、椭圆形NPTH对干膜封孔后的破孔良率数据,具体数据(见表1、表2)。