《表1 低温等离子体的分类及特点》

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《低温等离子体制备与改性纳米催化材料的研究进展》

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等离子体被分为高温和低温等离子体。其中，高温等离子体中几乎所有的组分都处于热平衡状态，通常用于热核聚变发电。低温等离子体中电子、离子、原子和分子不处于热平衡状态，因而也称为非热等离子体，其电子温度可达10000～100000 K（1～10 eV），因而多用于物质的合成和加工[6]。由于低温等离子体的非平衡性质、低功率需求和其在相对较低的温度下诱导物理和化学反应的能力，已被广泛地用于各类催化剂的制备和改性技术中[7]。基于低温等离子体产生的机理、施加的压力和电极的几何形状，低温等离子体被分为辉光放电、电晕放电、介质阻挡放电（DBD）、射频放电（RF）和微波放电，如表1所示。下面对这几种等离子体放电原理及在材料制备与改性领域的应用进行介绍。