《表2 设定温度为(24±0.2)℃时曝光机基台和周围空气温度》

《表2 设定温度为(24±0.2)℃时曝光机基台和周围空气温度》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名:随高清版一同展现
《高分辨率平板电脑产品中彩膜曝光基台色斑不良的改善》


  1. 获取 高清版本忘记账户?点击这里登录
  1. 下载图表忘记账户?点击这里登录

将曝光机台温度设定为(24±0.2)℃后再次测量5点温度,结果如表2所示,基台和空气温度差异缩小。在此温度下进行曝光测试,Macro观察基台Mura程度有所减轻,下游模组不良发生率由7.2%降低为5.5%。