《表1 设定温度为（23±0.2）℃时曝光机基台和周围空气温度》

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《高分辨率平板电脑产品中彩膜曝光基台色斑不良的改善》

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曝光工艺对温度要求较高，通常曝光基台温度控制在（23±0.2）℃，而空气温度受机构摩擦以及马达散热影响相对不受控。测量曝光基台的4个角和中心点共5个点温度和对应位置的空气温度，结果如表1所示。空气中的温度较基台温度高约0.5～0.6℃，推测该温度差异是造成不良的原因之一。