《表4 不同饱和方式与边缘镀膜厚度关系表》

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《管式PECVD镀膜均匀性的研究》

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通过上表数据看出假片饱和180min与120min边缘最小值无差异，目测镀膜电池片边缘存在发红现象；假片饱和叠加空镀饱和时间越长，边缘光学膜厚值越大，同时与单纯空镀饱和舟的边缘情况作对比分析得出，边缘发红、发白与石墨舟被电池片遮挡区域镀膜厚度有关系。