《表5 不同饱和方式与舟寿命对边缘镀膜的影响》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《管式PECVD镀膜均匀性的研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

由表5与图2看出，假片+空镀饱和40分钟的效果与空镀饱和80分钟效果接近，整个舟寿命周期边缘与中间膜厚差异可以控制在3%以内，空镀120分钟的舟寿命超出60次以后，边缘与中间膜厚差异达到7%，未达标准。因此综合考虑成本及产能，最佳的饱和方式为空镀120分钟。