《表1 各温区设定温度与实际温度对应表》

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《管式PECVD镀膜均匀性的研究》

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经测试管内不同位置压力、温度发现，压力位置一致性较好，温度位置差异性较大，且误差超出允许的1.5%的范围，已构成镀膜质量差异的主要反应条件。经分析造成此现象的主要原因为各个炉管加热丝长时间使用存在老化问题，个别温区温度无法达到设定值。