《表1 MOS气体传感器阵列选型》

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《自确认金属氧化物半导体气体传感器阵列及其应用研究》

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MOS气体传感器利用被测气体与金属氧化物半导体气敏元件的化学反应所导致的传感器内阻的变化对目标气体进行检测。由于大气环境污染气体包括一氧化碳、硫化物、氮化物、臭氧等有害气体，因此在设计MOS气体传感器阵列时，应遵循选择对被测气体响应的灵敏度存在差异、对目标气体均有响应、具有较快的响应速度、稳定可靠、重复性好的气体传感器。鉴于此，本文设计的MOS气体传感器阵列选型如表1所示。由于MOS气体传感器的检测性能与环境的温湿度相关，因此传感器阵列也同时包括温、湿度传感器，并根据其响应信号对气体传感器阵列的测量值进行温湿度补偿。