《表2 过程能力指数Cpk的评级标准》

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《自确认金属氧化物半导体气体传感器阵列及其应用研究》

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传统的测量质量评估方法都是利用基于测量值的不确定度表示。该类方法一方面不能够进行动态评定，另一方面对用户观测并不直观。本文采用动态测量过程中测量不确定度结合过程能力指数的方法进行表示，其理论推导可参考文件[12]。表2为过程能力指数Cpk的评级标准。图11为偏置故障下MOS气体传感器测量质量评估结果。