《表1 全息微结构的各项误差源》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《用于复杂曲面检验校准的CGH关键技术》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

基于设计的CGH相位补偿面，按照特定的算法[21]可生成全息条纹图案。针对全息条纹微结构的制备而言，通常采用如图2所示的工艺方案[22]。振幅型CGH的制备主要经历激光直写或电子束直写、显影、湿法刻蚀的工艺流程，而在此基础上再通过反应离子刻蚀即得到相位型CGH。电子束直写技术具有很高的分辨率[23]，但加工效率低下。相比于电子束直写而言，激光直写技术具有成本低、效率高等优势，是大口径CGH的主要加工手段。目前，市场上的激光直写设备以俄罗斯CLWS系统或德国DWL系统为代表[24]。由于受到光学衍射极限的影响，激光直写CGH微结构的最小线宽通常为0.6μm左右。全息条纹微结构的制造精度影响CGH的使用性能，表1列出了全息微结构的各项误差源，并对其加工技术水平进行了调研。