《表1 G/H1→H/L/A不同梯度化薄膜仿真参数nm》

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《减反膜的梯度化与激光损伤阈值之间的关系研究》

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注:表中折射率均为550nm处数值。

梯度化———在不改变薄膜总光学厚度的基础上，将渐变折射率薄膜进行分层等效，将非均匀薄膜用N层均匀薄膜来等效。将G/H1→H/L/A进行梯度化分层的仿真模拟，分别梯度化为5层梯度减反膜、6层梯度减反膜、7层梯度减反膜，考虑到分层中可能含有一些极薄层，不利于实际制备，故还需利用软件对膜系做进一步优化，去掉极薄层，最终获得满足指标且易于制备的膜系，结果如表1所示。梯度化后的膜系平均透过率均达到99%，分别为99.37%、99.44%、99.41%，其理论透射光谱如图3所示。