《表1 薄膜材料参数：激光诱导光学薄膜热致应力分析与仿真》

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《激光诱导光学薄膜热致应力分析与仿真》

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得到了单脉冲高斯激光诱导作用下，单层光学薄膜内温度场和热致应力场的解析表达式后，可以用具体的薄膜对该模型进行仿真计算，以获得不同材料的仿真结果，分析差异、总结规律。假定出射波长为1 064nm的高斯脉冲激光能量为10-6 J，光束半径为50μm，脉冲宽度为10ns，薄膜样品半径为50mm，厚度为0.5μm。环境温度为20℃，三种光学薄膜的材料参数如表1所示[9，10]。利用数学计算仿真软件MATLAB可以对温度场和热致应力场进行计算和仿真。