《表1 电容薄膜真空规的仿真参数》

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《差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试》

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取三个关键参数对真空规进行优化设计:薄膜边长a、厚度t以及电极间距d；利用灵敏度对设计方案进行评估。为了评价感压薄膜厚度对挠度和真空规灵敏度的影响，利用上述仿真模型，分别对这三个参数进行了计算，完成了正交优化，仿真参数如表1所列。