《表2 真空计的平均响应时间》

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《真空计动态响应特性实验研究》

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采用限流元件（直径为2.603 mm和10.998 mm的小孔）和快开阀的组合，使用三种校准气体，即N2、Ar和He对真空计进行了校准实验，用三个参数来描述真空计的动态特性；标准压力建立时间，是压力从初始值衰减到最终压力（±1%）所需的时间；时间常数，是压力从初始值衰减到其1/e所需的时间。这两个参数随限流作用增强而增长。表1给出了快规（CDG045Dhs，满量程133 k Pa）的测量结果。其他真空计的变化趋势与此一致。另一个参数是响应时间，结果如表2所列。其中三种电容薄膜真空计在测试中显示出一致性，它们的响应时间不受校准气体种类或限流元件尺寸的影响。对于690真空计，无论使用哪种气体在快速膨胀过程中都没有获得阶跃性响应。其原因可能在于690采用了模拟电路输出信号。皮拉尼真空计的情况较为复杂，该真空计对N2和He产生了不同速率的响应信号，但对于Ar丝毫不敏感。另外，采用2.603 mm限流元件时，皮拉尼真空计在N2中的响应时间比在He中更长。