《表2 归一化时间常数:快速动态真空校准装置的研制》

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《快速动态真空校准装置的研制》


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气体成分决定着不同的时间常数,采用不同气体对快规进行测试,如图20所示,理论计算与不同气体的测量结果如表2所示,除He(偏差3.3%)外,其他气体成分归一化时间常数具有良好的一致性。