《表3 不同限流元件与快开阀组合对应标准压力建立时间及时间常数》

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《快速动态真空校准装置的研制》

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（ms）

无限流元件动态真空校准结果如图23所示。快速动态真空校准装置采用高速数据采集与控制系统，采样率最高为500 kSa个采样点，当采用100 kSa采样率时，采样点采集时间为0.01 ms，远高于真空计响应时间，因此，通过过采样可充分识别真空计的响应特性。由CDG045Dhs（133 kPa）测量结果（见图24）可知，其响应时间约为1.03 ms，其说明书给出的响应时间为1 ms，表明该快规具有良好的动态响应特性。另外，快开阀单独使用时，快速动态真空校准装置标准压力建立时间最短，20 ms即可完成瞬态变化，对应的时间常数为1.73 ms（见表3），德国PTB同等条件测试结果为1.7 ms，两者偏差为1.7%。