《表1 Geant4模拟电子束打靶条件》
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基于现有的SEM系统搭建情况，使用Geant4软件模拟电子束与靶材相互作用，仿真条件见表1。
| 图表编号 | XD0057475300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.08.01 |
| 作者 | 牛耕、赵伟霞、刘俊标、韩立、马玉田 |
| 绘制单位 | 中国科学院电工研究所、中国科学院大学、中国科学院电工研究所、中国科学院电工研究所、中国科学院大学、中国科学院电工研究所、中国科学院大学、中国科学院电工研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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