《表1 等效回路诊断得到的电子密度与仿真模拟比较》

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《容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究》

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根据所测得的电学数据，通过描述CCRF放电的等效回路模型求解的电子温度如图10所示，可以看出电子温度Te随负载功率的逐渐升高变化不大，而随腔室气压的升高，离子平均自由程减小，等离子体边界与中心密度比值减小，从而电子温度减小。调整仿真模拟为功率输入并在时间周期与轴向取积分得到平均电子密度，与实验诊断所得结果进行比对见表1。相同输入功率下，100Pa电子密度高于250 Pa电子密度，相同气压下，电子密度随功率的升高而线性增加。仿真模拟结果非常接近但略低于实验诊断结果，这可能是由于模型中对原子碰撞与二次电子发射过程考虑不完全所造成的，研究结果证实了低气压下流体仿真与等离子体等效回路的准确性，对容性耦合射频放电等离子体的诊断具有重要意义。