《表1 自蔓延薄膜厚度:基于自蔓延反应的气密性陶瓷封装技术研究》

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《基于自蔓延反应的气密性陶瓷封装技术研究》


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对在硅基板上制备得到的自蔓延金属薄膜,使用台阶仪对其进行膜厚测量,对样品采用“5点法”进行测量,测试结果如表1所示。