《表3 试验结果分表:多晶硅生产中硅芯氧化问题探究》

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《多晶硅生产中硅芯氧化问题探究》


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3) 在击穿后将硅芯电流控制30A即温度控制在900℃以下有利于控制硅芯氧化,但电流不能再低,电流再低有硅芯熄灭的风险。