《表2 气膜厚度随时间的变化量》

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《液晶玻璃面板光学检测仪器气浮平台系统参数优化设计》

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根据仿真结果对比可得正负压同时供气方式更加有利于玻璃基板的光学缺陷检测，分别设计加工多块气浮板，并设计如图6所示的光学缺陷检测仪器。该光学缺陷检测仪器气浮参数为:进气孔横向间距为25 mm，纵向间距为20 mm；毛细管长度为50 mm，半径为60μm；气腔长度为10 mm，半径为0.5 mm；正压供气压力为14 kPa左右，为防止负压过大破坏玻璃基板，负压选取-2 k Pa；实验中涉及的玻璃基板尺寸为650 mm×550 mm×1 mm；项目要求样机能够对小于10μm的玻璃基板缺陷实现在线检测，这对气膜厚度及稳定性提出要求:1)气膜厚度小于50μm；2)稳定性小于1μm。经权威机构检测，气膜稳定性即固定位置处气膜厚度随时间的变化量，这里取玻璃基板中心为观测点，每隔1 min测量其厚度，结果如表2所示。