《表3 传感器的非线性误差标定结果/nm》

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《基于激光干涉的传感器非线性误差标定研究》


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按照上述流程利用本次设计的方法和传统方法[15-16]对传感器存在的误差情况进行10次标定,非线性误差标定结果如表3所示。