《表1 传感器非线性误差实验结果》

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《基于多通道电感测量的圆周等分孔位置度在线快速评定方法》

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选用差动式杠杆电感位移传感器，在生产车间环境下，采用三门峡中原量仪股份有限公司生产的BCT-5C型微动测量台架，配合标准量块和数据采集电箱，进行传感器的静态标定实验，如图12所示。测量原理是旋动右侧千分螺旋头，旋转1周时微动块横向移动0.5 mm，纵向升高0.01 mm，测量精度达0.2μm.在传感器测量范围为-50～50μm的线性段，将传感器初始示值调为0，旋动千分螺旋头，使量块向右运动，每向右运动0.25 mm，便记录相应传感器的示值，再调0从0向左运动，每0.25 mm记录1个传感器示值，共记录21个数据。重复进行5次实验，对5组数据进行处理，求取平均值，并与标准数值作差，得到传感器非线性误差散点数据，如表1所示。