《表5 位置度误差对比实验结果》

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《基于多通道电感测量的圆周等分孔位置度在线快速评定方法》

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分析图16、图17可知，摆线轮和行星架测量仪相对于CMM对比误差的均值和极值如表5所示，摆线轮Ⅰ孔的对比误差平均小于0.17μm，Ⅱ孔对比误差平均小于2.56μm，Ⅲ孔对比误差平均小于2.37μm；行星架Ⅰ孔的对比误差平均小于1.95μm，Ⅱ孔对比误差小于2.26μm，Ⅲ孔对比误差小于0.4μm；同时测量仪的对比误差极值小于3μm，测量精度和准确性较高。