《表1 波前曲率传感器和哈特曼波前传感器的测量结果（均方根和峰谷值）对比》

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《光栅型波前曲率传感器光斑自动定位提取算法》

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针对图4的4组测量数据，采用前20阶拉普拉斯算子本征模式进行波前复原[13]，并与哈特曼波前传感器的测量结果进行对比。两种传感器的复原波面如图5所示，其中第1行为波前曲率传感器（CS）的结果，第2行为哈特曼波前传感器（HS）的结果，单位为波长；4组波面数据的均方根值（dpv）和峰谷值（Wrms）对比如表1所示。图5中，第1列为没有加像差片时两个传感器的复原结果，即实验系统自身的误差，可以看出二者形状有明显差异；从第2、3、4列图可以看出两个传感器的复原波面相似。表1中，前3组数据两个传感器的结果比较接近，波面均方根和峰谷值的差异在0.025λ和0.08λ（λ表示激光器波长，即635nm）以内，主要原因是波前曲率传感器存在较大的系统误差；第4组数据的复原结果差距较大，原因在于待测波前Wrms较大，超出了曲率传感器的线性范围[6]。实验结果验证了上述光斑提取及波前复原的准确性。