《表1 研磨实验参数：研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用》

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《研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用》

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β-Ga2O3晶体由中科院上海光机所杭寅课题组采用提拉法生长获得，将未经退火处理的晶体沿（100）面切出尺寸约为10 mm×10 mm×1 mm的方形薄片。研磨设备为4轴研磨机，研磨垫为Riken砂纸（型号CP38，规格P5000）。每次研磨实验之前应注意:使用新的研磨垫，设置研磨时间为30 min，以及保持较小的载荷力。研磨液为水和油，其中水为去离子水（DI water），油为天然有机润滑油（主成分为三酰甘油）。氧化镓晶体使用粒径W7的金刚砂进行粗研磨预处理。为了获得理想的晶面质量，氧化镓的研磨实验分两步实施:（1）利用水作研磨液，快速去除粗研磨产生的损伤层；（2）利用油作为研磨液，去除第（1）步产生的损伤层，具体研磨工艺参数设置如表1所示。